大规模非晶硅薄膜PECVD生产线及核心设备
晶体硅电池生产用特大面积平板式氮化硅薄膜PECVD设备
半导体材料与器件研发用多功能辐射型PECVD-PVD 设备(Cluster)
半导体精密气路系统
高端薄膜光伏电池产品
非晶硅薄膜光伏生产线设备改造与工艺升级技术服务
 
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