高纯气体气路精密控制系统
气路系统是半导体设备的重要组成部分之一。
安全性－由于很多气体都具有对人体有毒，或者易燃、易爆等特性，因此安全性是一个气路的最重要的特性。思博露公司提供的气路系统，都配有多重安全保障措施，包括过流截止阀，单向阀门，高精密气体探测系统等措施，保证气体系统的安全运行。
稳定性－半导体薄膜材料在制备过程中对气体的流量需要严格控制，因此只有气路系统是稳定的，才能保证气体被严格控制。
精密性－半导体薄膜材料，对气体原料的掺杂十分敏感，因此气路系统必须能够精密的控制气体的流量。
为了达到上述要求，思博露设计的气路柜，具有如下特点：
1、 采用国际最著名的气路部件品牌－Swagelok
2、 拥有高灵敏的危险气体监测、报警功能
3、 世界最好品牌的流量计和可靠的控制部件
4、 气体流量调节范围从零点一到数千SCCM
一、高纯气体气路精密控制柜
图1 高精度半导体气路控制柜
图2 高精度半导体气路控制柜
图1和图2为思博露推出的高精度半导体气路控制柜。每路气体分别有：两个手动阀、单向阀、流量计、气动阀零件组成，满足安全使用的同时，还具有可以方便的切换气体、更换零部件等优点。并且气路柜装有特殊气体监测系统。
高纯气体气路源系统
气体源系统是供给气体的源头，直接与气体储存容器相连。
图3
图4
图3、4为思博露推出的气体源系统。图中每种气体都有双路组成，这种设计的优点是可以在不停止供气的前提下更换气体瓶子，而单路系统在某种气体使用完以后，则该气体就不能继续供给，需要等该气路重新安装方能使用，这样做为生产带来极大的方便，也降低了设备的生产效率。而双路供气系统则很好的克服了这一缺点。
图中，每一路气路都有两个手动阀、一个单向阀、一个减压阀、一个高压阀、一个与气体瓶直接相连的过流截止阀组成，这一组合充分的体现了气路的安全性能。 |
